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隨著微粒和金屬污染的數量級逐漸減小，以及對這方面的污染控制非常有效，現在更多注意的是有機污染和表面狀態相關問題。用簡單的燈清洗法可以把有機污染從Si表面除去。此外，應特別注意溶解在水內和氣相的臭氧在控制有機污染中的作用。酸加氧化劑清洗:酸加氧化劑清洗液配方為:HCI∶H2O2∶H2O=1∶5∶5~1∶10∶10,可溶解堿金屬離子,并生成碳酸鹽和鋁、鐵及鎂之氫氧化物,另外鹽酸中氯離子與殘留金屬離子發生絡合反應形成易溶于水溶液的絡合物,也可去除金屬污染物。雙氧水一方面可以去除有機物污染,另外配合攪拌和超聲過程中形成的大量氣泡對表面大顆粒污染物產生較大沖擊力,使污染物脫離表面。清洗常用的化學試劑丙酮（ACE）：【用途】除去有機殘余物，有機顆粒；除去光刻膠。異丙醇（IPA）：【用途】溶解丙酮，將有機殘余物溶解。DI水：【用途】溶解異丙醇，帶走殘余物。?SPM:(H2SO4:H2O2:H2O）。
