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產品原理
磁控濺射電源的陽極、陰極分別連接做基體和靶材上，將一個強烈磁控管裝置做靶材后部。當鍍膜室被抽成真空狀態時，充入一下氬氣等惰性氣體，鍍膜室內的高壓將氬原子電離成電子和氬離子，形成等離子異常輝光放電。電離出來的電子在高壓電場的作用下，做加速運動，不斷與氬原子發生強烈碰撞，這樣產生許多二次電子和氬離子。電子經過多次碰撞，電子的動能就會降低，從而脫離了磁力線的束縛，終落在鍍膜室內壁、陽極和集體上。氬原子受到多次氬離子碰撞，得到了大量動能，從而脫離了原來晶格束縛，飛向基片，從而大量的靶材原子積累在基體表面、沉積形成薄膜。組成靶材各種材料都可以成為陰極靶，用來進行濺射鍍膜。當靶材的材料不同時，磁控濺射工藝對電源輸出特性也不盡相同。
產品參數
輸
