直流磁控濺射電源用于鍍制金屬膜及化合物膜,例如金、銀、鋁、鈦、鉻等,輸出電壓為直流,具有穩流功能,穩流精度高(達1%)。
品名 直流磁控濺射電源
型號 MSD系列
輸入 相數 三相+N
電壓 380V
頻率 50Hz
輸入方式 4線(含零線)
輸出 波形 直流
功率 20kW~200KW(可定制)
電壓 0—1200V(可定制)
穩定度 ≤1%
電流 0—200A(可定制)
穩定度 ≤1%
紋波及雜訊 ≤5%或≤3%
效率 ≥90%
控制 控制方式 標準方式:恒流
可選方式:恒流、恒壓、恒功率可切換
控制接口 標準方式:面板手動
可選方式:面板手動、PLC模擬接口、RS485(Modbus)
保護 具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能
冷卻 風冷或水冷
外型 防護等級 IP21
單元尺寸(W*D*H) 箱體:440(W)X220(H)X560(D) (20KW風冷)
面板:482(W)X248(H)
重量 約30KG(30KW)
備注