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雙極脈沖磁控濺射電源適用于中頻孿生靶磁控濺射金屬和非金屬導電材料，特別適合于反應磁控濺射鍍制ITO膜、介質膜、絕緣保護膜等。本電源能增加離化率，減小電荷積累引起的異常放電，預防靶表面中毒現象。電源輸出波形為正負脈沖交替循環。
品名 雙極脈沖磁控電源（中頻電源）
型號 MSB系列
輸入 相數 三相+N
電壓 380V
頻率 50Hz
輸入方式 4線（含零線）
輸出 波形 正負對稱脈沖
功率 10KW~100KW（可定制）
電壓 0—1200V（可定制）
穩定度 ≤1%
電流 0—100A（可定制）
穩定度 ≤1%
紋波及雜訊 ≤2%
效率 ≥90%
控制 控制方式 標準方式：恒壓/高低壓切換
可選方式：恒流、恒壓、恒功率可切換
控制接口
標準方式：面板手動
可選方式：面板手動、PLC模擬接口、RS485(Modbus)
保護 具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能
冷卻 風冷或水冷
外型 防護等級 IP21
單元尺寸
(W*D*H) 箱體：440(W)X260(H)X580(D) （30KW水冷）
面板：482(W)X280(H)
重量 30KG（30KW）
備注
