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工作方式 真空輝光等離子 用途 等離子清洗、刻蝕、活化、改性
功率 1250（W） 品牌 戈德爾 Guarder
工作頻率 13.56MHZ（Hz）
技術參數
>> 設備外形尺寸:(不包括報警燈) 950(W)×1100(D)×1850(H)mm
>> 真空倉體尺寸:(約200升) 550(W)×700(D)×530(H)mm
>> 倉體結構:(不銹鋼材質) 13層鋁合金放電電極,陽極氧化處理
>> 等離子發生器: 美國COMDEL射頻電源,功率0-1250W連續調節,自動阻抗匹配，全電路保護，可連續長時間工作。
>> 控制系統: PLC觸摸屏全自動控制，采用歐姆龍、施耐德等品牌電器元件,有手動、自動兩種控制模式，12”真彩觸摸屏，西門子可編程控制器，可在線設定、修改、監控真空壓力、處理時間、氣體流量、等離子功率等工藝參數，并具有故障報警、工藝存儲、密碼鎖定、系統維護等多種功能。
>> 真空系統: 前級泵, 德國萊寶旋片真空泵 ; 二級泵, 德國萊寶羅茨真空泵; 臺灣氣動角閥、充氣閥、德國英福康高精度真空計、傳感器。
>> 充氣系統: 美國AE高精度電子質量流量計(兩路氣體配制)、針閥 美國世偉洛克氣體管路及接口組件,德國雙級減壓閥,日本SMC及CKD高真空氣閥組件。
