真空艙體 W400 mm × H600 mm × D625 mm (150 升) * 分層(多到16層) 電極-托盤 * 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發生器 * 針孔電極 * 2氣路,MFC * 電腦控制 (Windows) * 功率連續可調 0-2500W
* 自動阻抗匹配 * 電磁閥保護,回流油霧不能進入艙體 * 規格:W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm
* 電源:AC 380V/50Hz
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發生器 * 2.45 GHz 射頻發生器 * 旋轉圓筒艙體(適用于處理顆粒狀樣品)
詳情參見配件選裝指南