真空艙體 W305 mm × H300 mm × D370 mm (34 升)
* 分層(多到6層) 電極-托盤
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發生器
* 針孔電極
* 3氣路,MFC
* 電腦控制 (Windows)
* 功率連續可調 0-1000W
* 自動阻抗匹配
* 電磁閥保護,回流油霧不能進入艙體
* 規格:W600 mm×H2200 mm× D850 mm
* 電源:AC 380V/50Hz
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發生器
* 2.45 GHz 射頻發生器
* 加深艙體 D625mm* 旋轉圓筒艙體(適用于處理顆粒狀樣品)
詳情參見配件選裝指南