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自動勻膠機(jī)，采用旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，通過定位系統(tǒng)，輔以皮帶傳送，實現(xiàn)顯影的自動顯定影。旋轉(zhuǎn)速度達(dá)6000rpm，無故障加工片數(shù)多達(dá)10000片以上。自動顯影具有加工速度快，顯影效果好，節(jié)省顯影液等特點。設(shè)備具有操作簡單，維護(hù)量小等特點。
適用范圍廣：適用3-6寸芯片
顯定影噴頭控制：≤0.2mm
旋轉(zhuǎn)速度控制：較高轉(zhuǎn)速6000rpm，加速度可在0-5000rpm/sec范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，轉(zhuǎn)速
度≤1-4%
涂布均勻性好：片內(nèi)≤0.04μm，片間≤0.08μm
設(shè)備性高：MWBF（平均故障間隔）≥10000片
