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自動勻膠機，采用旋轉馬達，通過定位系統，輔以皮帶傳送，實現光刻膠的自動涂覆，前烘。旋轉速度達6000rpm，無故障加工片數多達10000片以上。自動勻膠具有加工速度快，涂覆均勻性好，節省光刻膠等特點。設備具有操作簡單，維護量小等特點。
適用范圍廣：適用3-6寸芯片
烘烤溫度控制：≤1℃（50-150℃），≤2℃（150-200℃）
旋轉速度控制：較高轉速6000rpm，加速度可在0-5000rpm/sec范圍內調節，轉速
度≤1-4%
涂布均勻性好：片內≤130A，片間≤150A
設備性高：MWBF（平均故障間隔）≥10000片
