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石英環清洗機
1 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式；
2 清洗對象：石英環
設備形式: 室內放置型；
4 尺寸(參考，含地腳)：3500 mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000 mm(H)；
5 機臺總體結構暫定分為兩部分，機械運行機構裝置與機臺上方（可拆卸）；
6 工藝說明:手動方式實現放件、取件，機械臂自動方式實現槽體間傳送件；
7 工藝參數（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調）手動由觸摸屏界面可設定；
8 機械臂幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩；
9 為確保清洗工藝和機械手的使用壽命，機械手由多種工業材料和特殊的表面處理構成。
