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半自動GAN/GaAs外延片清洗機
※ 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式。
※ 清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette； 4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※ 工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。
※ 腐蝕工藝自動補藥液了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性；
※ 工藝參數(shù)（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設(shè)定；
※ 機臺前方為清洗工作區(qū)域，機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。
※ 藥液供給及補液方式: 分體式CDS自動供液系統(tǒng)
※ DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；
※ 配有分體式廢液回收系統(tǒng)；
※ 強排風(fēng)風(fēng)通道：￠200mm×1；排風(fēng)量：1500m3/h×2
