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LFS4001系列氣體質量流量傳感器
一、產品介紹
LFS4001系列氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體測量和過程控制而設計的，這一系列傳感器均采用微機電系統流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現對傳感器的靈活配置與參數查詢。
二、產品特點
■響應速度快、低功耗、低壓損
■靈敏度高、穩定性好、始動流量小
■全量程高穩定性、高精度度和優良的重復性
■在單個芯片上實現了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高
■傳感器芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量。
三、技術參數
型號 | LFS4001 | 單位 |
通徑 | 3.0 | mm |
流量范圍 | 30、100、200、500、1000 | SCCM（毫升/分鐘） |
量程比 | 100：1 | |
精度 | ±1.5 | % |
重復性 | 0.25 | %讀數 |
響應時間 | 4 | 秒 |
工作電源 | 8-24VDC | |
輸出信號 | 0.5-4.5VDC、RS232 | |
最大工作壓力 | 0.5 | MPa |
工作溫度 | -5～+55 | ℃ |
儲存溫度 | -20～+65 | ℃ |
連接方式 | 可拆卸的軟管接頭或根據客戶需求訂制 | |
四、選型代碼
LFS4001 | □ □ £ 說 明 | |||
最大 流量 | 30 | 30 mL | ||
100 | 100 mL | |||
200 | 200 mL | |||
500 | 500 mL | |||
1000 | 1000 mL | |||
輸出方式 | C | RS232 | ||
V | 模擬電壓(0.5-4.5VDC) | |||
CV | RS232+模擬電壓(0.5-4.5VDC) | |||
測量介質 | A | 空氣 | ||
C | 二氧化碳 | |||
E | 氦氣 | |||
H | 氫氣 | |||
N | 氮氣 | |||
O | 氧氣 | |||
R | 氬氣 | |||
注明：對二氧化碳，最大流量可選30，100，200，500和750，不可選1000；傳感器的標準輸出為模擬電壓0.5-4.5VDC，RS232為選項。
咨詢熱線：02084558515
