電子潔凈廠房
隨著科學技術的發展，各種電子產品生產技術發展迅速。現代電子產品要求微型化、精密化、度、量和高性，電子產品本身使用的集成電路、電子元器件的生產過程都要求在受控的環境下進行操作，受控參數涉及微粒、化學污染物等與產品生產過程接觸的各種介質。電子廠房內氣流組織依據氣流流型可劃分為單向流、非單向流和混合流三種形式。目前對于超大規模集成電路生產車間空調系統具有以下特點：
1、超大規模集成電路工藝布置多采用開放環境結合微環境的方法，在產品質量的同時，還可達到減少建設投資、降低運行費用的目的。
2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6-9級時，基本上采用非單向流。
3、為有效降低能耗、消除空氣處理時冷熱抵消現象，對于新風系統常采用集中處理形式。
檢測項目：
1）懸浮粒子數
2）溫濕度檢測
3）噪聲的檢測
4）照度的檢測
5）風量和風速的檢測
6）靜壓差的檢測
7）過濾器檢漏光度計法
檢測依據：GB 50591-2010《潔凈室施工及驗收規范》
GB 50472-2008《電子工業潔凈廠房設計規范》
GB 50073-2001《潔凈廠房設計規范》
