工作原理
1.非接觸式激光測厚儀由專用的激光器產生很細的線型光束,以一定的傾角投射到待測量目標上,由于待測量目標與周圍基本存在高度差,此時觀測到的目標和基板上的激光束相應出現斷續的誤差,根據三角函數關系可以用觀測到的落差計算出待測目標與周圍基板存在的高度誤差,從而實現非接觸式的快速測量.
技術參數
1.測量原理:非接觸式,0.005mm鐳射激光線
2.測量精度:正負0.002mm
3.重復測量精度:0.002mm
4.重量與外形:60KG W600*D550*H650mm
5.移動平臺:X,Y電磁鎖閉平臺可任意移動
6.視場:10*7.5-1.2*0.8可調節
7.影像系統:高清彩色CCD攝像頭
8.照明系統:高亮度環形LED無影光源
9.測量光線:可低至5微米高度激光束
10.容納較大面積:400*600
11.可測量元件:0201 01005 0.2mm細間IC BGA /CSP