液晶腐蝕減薄清洗機
型號:CGB—XX-X系列,品牌:華林嘉業—CGB⑴整機采用德國/合資磁白色PP板焊接而成,本機每槽可同時清洗2(非標)個花籃。本設備外型美觀,耐酸性能好,操作方便,運行,是半導體生產線理想的硅片清洗設備。 ⑵本設備由機架部分、整機部分、槽體部分、伺服系統、及機械傳動部分、電氣控制系統構成。⑶工藝過程全自動,機械手在槽間轉換靠PLC來控制,美國導軌和機械手來滿足工藝時序。⑷除裝片和取片需人工外,其余工藝動作均由機械手來實現,適用于連續批量生產。⑸機
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