硅片切片后清洗設備
硅片切片后清洗設備型號:CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業—CGB1.設備由五大部分組成:清洗槽部分、伺服系統及機械臂部分、層流凈化系統、電氣控制系統、機架及整機。 2.清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 3.關鍵件采用件,包括氣動閥,PFA管道、全氟循環系統,工作介質(酸、堿)的潔凈度,避免雜質析出。 4.工藝過程全自動,機械手
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