東莞市莞鑫工業(yè)設(shè)備制造有限公司三種常見的干式螺桿真空泵螺桿轉(zhuǎn)子型線分析與螺桿加工方法探討
一、分析了三種實(shí)際應(yīng)用較為廣泛的，分別帶有阿基米德線、漸開線、余擺線的螺桿真空泵螺桿轉(zhuǎn)子型
線，具體比較了三種型線組成曲線嚙合特性和型線的優(yōu)劣。詳細(xì)闡述了螺桿的車削加工方法，分別建立
了帶有刀位點(diǎn)的三種螺桿車削加工模型，并且給出了車削刀具的選取依據(jù)。后，簡(jiǎn)單地介紹了一種高
效的螺桿銑削螺桿加工方法，并提供了一種實(shí)用的螺桿加工精度測(cè)量方法。
二、干式螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵，核心元件是一對(duì)相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子，泵腔內(nèi)沒有金屬與金
屬間的接觸，抽氣腔元件無(wú)摩擦，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，易損件少，真空度高，使用壽命長(zhǎng)，能耗低，無(wú)油污
染，使用場(chǎng)地小等優(yōu)點(diǎn)而廣泛使用，而且螺桿真空泵的各級(jí)泵之間無(wú)內(nèi)部通道，而是直接將氣體從吸氣
側(cè)推送至排氣側(cè)，因此在抽除可凝性氣體、帶有粉塵及顆粒物的氣體時(shí)不易堵塞且清洗方便。由于其優(yōu)
越的性能，在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工、太陽(yáng)能光伏、LED 等行業(yè)真
空獲得設(shè)備，可廣泛替代旋片式真空泵，滑閥式真空泵，水環(huán)式真空泵，水噴射真空泵，往復(fù)式真空泵
，羅茨水環(huán)真空機(jī)組等。
三、目前，單頭、爪形的螺桿轉(zhuǎn)子型線是國(guó)內(nèi)外廠商為常用的一種型線，其綜合性能，密封性能
良好，面積利用系數(shù)大，且解決了轉(zhuǎn)子的齒面干涉問(wèn)題，故為廣泛采用，這種螺桿采用基圓半徑相等、
旋向相反、端面曲線相同的型線。型線的設(shè)計(jì)中，齒根圓弧與齒頂圓弧過(guò)渡一般采用阿基米德線及其共
軛曲線、漸開線及其共軛曲線、圓弧及其共軛曲線或擺線及其共軛曲線，不同的過(guò)渡形式，我們認(rèn)為對(duì)
成對(duì)螺桿的間隙設(shè)計(jì)、螺桿的加工方法選取及與之對(duì)應(yīng)的加工效率各不相同。本文主要分析帶有阿基米
德曲線、漸開線和擺線過(guò)渡線的三種常見的型線嚙合特性，并且以其為基礎(chǔ)探討螺桿的加工方法，以便
根據(jù)不同的型線和加工設(shè)備，為選取合適、的螺桿加工方法提供參考。
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