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東莞市莞鑫工業設備制造有限公司三種常見的干式螺桿真空泵螺桿轉子型線分析與螺桿加工方法探討
一、分析了三種實際應用較為廣泛的，分別帶有阿基米德線、漸開線、余擺線的螺桿真空泵螺桿轉子型
線，具體比較了三種型線組成曲線嚙合特性和型線的優劣。詳細闡述了螺桿的車削加工方法，分別建立
了帶有刀位點的三種螺桿車削加工模型，并且給出了車削刀具的選取依據。后，簡單地介紹了一種高
效的螺桿銑削螺桿加工方法，并提供了一種實用的螺桿加工精度測量方法。
二、干式螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵，核心元件是一對相互嚙合的螺桿轉子，泵腔內沒有金屬與金
屬間的接觸，抽氣腔元件無摩擦，結構簡單緊湊，易損件少，真空度高，使用壽命長，能耗低，無油污
染，使用場地小等優點而廣泛使用，而且螺桿真空泵的各級泵之間無內部通道，而是直接將氣體從吸氣
側推送至排氣側，因此在抽除可凝性氣體、帶有粉塵及顆粒物的氣體時不易堵塞且清洗方便。由于其優
越的性能，在歐美和日本已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工、太陽能光伏、LED 等行業真
空獲得設備，可廣泛替代旋片式真空泵，滑閥式真空泵，水環式真空泵，水噴射真空泵，往復式真空泵
，羅茨水環真空機組等。
三、目前，單頭、爪形的螺桿轉子型線是國內外廠商為常用的一種型線，其綜合性能，密封性能
良好，面積利用系數大，且解決了轉子的齒面干涉問題，故為廣泛采用，這種螺桿采用基圓半徑相等、
旋向相反、端面曲線相同的型線。型線的設計中，齒根圓弧與齒頂圓弧過渡一般采用阿基米德線及其共
軛曲線、漸開線及其共軛曲線、圓弧及其共軛曲線或擺線及其共軛曲線，不同的過渡形式，我們認為對
成對螺桿的間隙設計、螺桿的加工方法選取及與之對應的加工效率各不相同。本文主要分析帶有阿基米
德曲線、漸開線和擺線過渡線的三種常見的型線嚙合特性，并且以其為基礎探討螺桿的加工方法，以便
根據不同的型線和加工設備，為選取合適、的螺桿加工方法提供參考。
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