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深圳華科智源科技有限公司提供的ITC57300動態參數測試儀，雪崩能量測試儀，測試開關時間，反向恢復時間，柵電荷等參數。Trr（反向恢復時間）和Qrr（反向恢復電荷）的測試尤在開關性能測試中至關重要，在半導體器件測試中有著重要的地位。深圳市華科智源科技有限公司技術部同事從測試原理以及實際測試情況進行案例分析。
1.測試原理
測試鏈路（如下圖）主要由DRIVER管和待測管DUT組成，在外加電壓的情況下，信號輸送部分發出的雙脈沖經過驅動電路放大驅動功率送到DRIVER管，當個脈沖到DRIVER管時，DRIVER管導通，電感開始充電。個脈沖過去后，DRIVER管關斷，電感放電，電流由DUT管的源極極流向漏極，與電感形成回路。此段時間為第二個脈沖和個脈沖之間的延時時間。根據不同的測試器件，調節延時時間，使電流下降的斜率達到100A/uS ，也就是測試條件里面的di/dt=100A/uS。當第二個脈沖到來時，DRIVER管導通，電感重新開始充電。DUT管內二極管兩端由正向偏置轉換為反向偏置，該二極管不能立即關斷，需要經過暫短的時間才能獲得反向阻斷能力，因為正向導通時在PN結兩側儲存的大量少子需要被清除掉以達到反向偏置穩態，所以DUT管在關斷前有較大的反向電流，并伴隨有明顯的反向電壓過沖。
測試鏈路圖
2.測試波形及數據：
用ITC57300動態參數測試儀測得的電流波形及實測數據為：
