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深圳華科智源科技有限公司提供的ITC57300動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試儀，雪崩能量測(cè)試儀，測(cè)試開關(guān)時(shí)間，反向恢復(fù)時(shí)間，柵電荷等參數(shù)。Trr（反向恢復(fù)時(shí)間）和Qrr（反向恢復(fù)電荷）的測(cè)試尤在開關(guān)性能測(cè)試中至關(guān)重要，在半導(dǎo)體器件測(cè)試中有著重要的地位。深圳市華科智源科技有限公司技術(shù)部同事從測(cè)試原理以及實(shí)際測(cè)試情況進(jìn)行案例分析。
1.測(cè)試原理
測(cè)試鏈路（如下圖）主要由DRIVER管和待測(cè)管DUT組成，在外加電壓的情況下，信號(hào)輸送部分發(fā)出的雙脈沖經(jīng)過驅(qū)動(dòng)電路放大驅(qū)動(dòng)功率送到DRIVER管，當(dāng)個(gè)脈沖到DRIVER管時(shí)，DRIVER管導(dǎo)通，電感開始充電。個(gè)脈沖過去后，DRIVER管關(guān)斷，電感放電，電流由DUT管的源極極流向漏極，與電感形成回路。此段時(shí)間為第二個(gè)脈沖和個(gè)脈沖之間的延時(shí)時(shí)間。根據(jù)不同的測(cè)試器件，調(diào)節(jié)延時(shí)時(shí)間，使電流下降的斜率達(dá)到100A/uS ，也就是測(cè)試條件里面的di/dt=100A/uS。當(dāng)?shù)诙€(gè)脈沖到來時(shí)，DRIVER管導(dǎo)通，電感重新開始充電。DUT管內(nèi)二極管兩端由正向偏置轉(zhuǎn)換為反向偏置，該二極管不能立即關(guān)斷，需要經(jīng)過暫短的時(shí)間才能獲得反向阻斷能力，因?yàn)檎驅(qū)〞r(shí)在PN結(jié)兩側(cè)儲(chǔ)存的大量少子需要被清除掉以達(dá)到反向偏置穩(wěn)態(tài)，所以DUT管在關(guān)斷前有較大的反向電流，并伴隨有明顯的反向電壓過沖。
測(cè)試鏈路圖
2.測(cè)試波形及數(shù)據(jù)：
用ITC57300動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試儀測(cè)得的電流波形及實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)為：
