產品特點:
1. 簡潔的結構設計,占用空間小(44cm x 28cm x 49cm)。
2. 簡單的功能配置,高性價比的測試探針臺系統。
3. 操作簡易,適用于被測點尺寸在50μm以上或樣片尺寸4”以內的測試。
4. 完整的系統配件,滿足I-V/C-V測試、RF測試等測試需求。
5. 標準的產品系統,可在2周內快速交貨。
產品簡介
Mini系列探針臺結構設計小巧緊湊,功能配置簡單,為用戶提供了的空間利用和高性價比的測試方案。
Mini系統可滿足用戶急迫的使用需要、標準的產品系統可在2周內交貨。
Mini系列可兼容多種測試配件,用戶可將Mini系列可應用于不同的分析測試中,如漏電精度低于100fA的I-V測試、分辨率為0.1pF的電容測試以及DC-67GHz的微波測試等等。
Mini系列僅包含了探針臺的基礎功能,用戶可快速上手探針臺的操作。載物臺X-Y移動基座采用同軸調節結構,可快速地定位測試樣片。
載物臺360°R軸粗調,可快速地對準探針和被測點。
載物臺真空吸附采用旋鈕開關,相較于真空拔子開關,旋鈕開啟和關閉真空的過程中不會產生震動,可很好地保護探針和被測點。
探針臺底座配置XX材料防震腳墊,能有效減弱從外界傳導至探針臺的震動,提升Mini系列的穩定性。
全內置的載物臺真空管路和接地線路,讓用戶在無干擾的情況下更加簡單地進行測試。
性能參數
載物臺
尺寸 4"(101.6mm)
材質 不銹鋼
平整度 ≤±2.5μm
真空區域 0,2",4",環形吸附
真空控制 手動控制,獨立真空區域
載物臺電性能 載物臺信號導通,可選擇接地或接信號
載物臺移動基座
X-Y軸行程范圍 2"*2"(50.8mm*50.8mm)
精度 10μm
R軸粗調角度范圍 360°