S系列為真正意義上的模塊化結構設計探針臺，讓用戶可完全圍繞實際應用，選擇適合的功能配置，確保成本解決方案的同時滿足用戶將來的升級需求。
S系列可定制的模塊為：載物臺及其移動基座模塊、探針座放置平臺移動模塊和顯微鏡及其移動基座模塊。用戶可自行配置功能模塊的同時，還可根據自身需求增加探針卡夾具、激光器、微腔體屏蔽系統、半自動控制系統、全自動控制系統、高溫測試系等，滿足更多的應用需求。
S系列還為用戶提供了一個高剛性和穩定性的測試系統。載物臺移動基座和探針臺底座一體化的結構設計，地提高了載物臺的結構剛性和穩定性。顯微鏡支撐為龍門結構，可應用于高放大倍率的光學系統，光學系統的穩定性。探針座放置平臺采用高剛性結構設計，平臺板整體的垂直應力形變在5μm/10N以內，擁有極高的穩定性以滿足高精度探針座的定位要求。
載物臺(常規晶圓載物臺）
尺寸 6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12"
材質 不銹鋼
平整度 ≤±2.5μm
真空區域* 0，2"，4"，6"環形吸附**
真空控制 手動控制，獨立真空區域
真空驅動方式 真空泵
載物臺電性能 載物臺信號導通，可選擇接地或接信號
*根據載物臺尺寸有所不同，如載物臺尺寸為12"，則真空吸附區域為0，2"，4"，6"，8"，12"。
** 除環形吸附外，還可選微孔吸附式載物臺，以適用于厚度在50μm或以內的晶圓。
載物臺移動基座
X-Y軸行程范圍* 6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程
精度 1μm
R軸粗調角度范圍 360°
R軸細調角度范圍 ±9°
微調精度 0.0001°/deg
Z軸細調行程范圍 13mm
細調精度 1μm
Z軸快升行程 0~6mm, 可調
Z軸往復精度 <1μm
載物臺快速拖出行程 100mm
*根據載物臺尺寸不同，行程有所不同，如載物臺為12"，則X-Y移動行程為12"*12"。
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探針臺,探針座
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