性能特點
用途
WX40是最新型FPD檢查顯微鏡,專為LCD行業TFT玻璃COG導電粒子壓痕檢查,以及6英寸及以下的集成電路硅片在線檢查和實驗室分析設計,具有成像清晰,工作距離長,使用便利,應用軟件豐富的特點,是一款性價比非常優秀的半導體及微電子工業與科研用顯微鏡,其微分干涉效果可與進口品牌相媲美。
特點
1)無限遠校正光學系統,光效率更高,采用長壽命LED光源,提供出色的圖像質量
2)多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要,可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察
技術參數
配 置 參 數
光學系統 無限遠色差校正光學系統
觀察方法 明場/斜照明/偏振光/DIC
觀 察 筒 30°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100:0或50:50
目 鏡 PL10X/22平場高眼點目鏡
轉 換 器 5孔內傾式轉換器,帶DIC插槽
物 鏡 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm
無限遠長工作距平場消色差金相物鏡10X LMPL10X/0.30 WD10mm
無限遠長工作距平場消色差金相物鏡20X LMPL20X/0.45 WD4mm
無限遠長工作距平場半復消金相物鏡50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm
無限遠長工作距平場半復消金相物鏡100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm(選配)
調焦機構 粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出
載 物 臺 4寸雙層機械移動平臺,行程105X105mm,帶金屬平板平臺,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口
另可選配:6寸、8寸移動平臺
反射照明系統 帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調中心;帶濾色片單顆大功率5W LED,白色,光強連續可調
偏光附件 檢偏鏡可360度旋轉,起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路