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一、主要特點
主要用于半導體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實驗室材料分析及其他精密工程檢測領域，可對樣品進行明場、暗場及簡易偏光觀察。
二、儀器介紹
1）系統采用無限遠平場消色差、長工作距、明暗場兩用物鏡，成像清晰、像面平坦
2）配備反射式柯拉照明系統，為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
3）正像三通觀察筒，25°傾斜，極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應性
4）配備了6”帶離合器機械平臺，行程158*158mm，可快速移動
5）人機學設計，高剛性鏡臂，“Y”型底座，調焦機構采用前置式操作控制，粗微調同軸
6）光源采用寬電壓數字調光技術，具有光強設定與復位功能
7）可選配攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等附件，拓展應用領域
三、技術參數
光學系統: 無限遠色差校正光學系統
物鏡: 無限遠平場消色差，長工作距金相物鏡（明暗場兩用），5X、10X、20X、50X、80X、
目鏡: 高眼點平場目鏡，PL10X，線視場φ22mm
高眼點平場目鏡，PL15X，線視場φ16mm
觀察筒: 正像，鉸鏈式三目，25°傾斜，分光比：雙目，三目
照明系統: 反射式柯拉照明，明暗場切換，帶簡易偏光接口，12V/100W鹵素燈，預置中心采用數字調光，具有光強設定與復位功能，帶針孔光闌
調焦機構: 粗微調同軸，帶粗調上限位、松緊調節裝置和隨機限位裝置
粗調行程：33mm（焦后1mm），微調精度：0.001mm
較大樣品高度：32mm
物鏡轉換器: 內定位、內傾式、五孔、明暗場兩用物鏡轉換器
載物臺: 6英寸矩形，機械移動平臺445mmX240mm，移動行程：158mmX158mm
低位同軸調節，帶離合器控制手柄，可快速移動
機架: 全新的人機工程學設計，高剛性鏡臂，“Y”型底座，前置式操作控制
四：選購附件: 攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等
