CI型-超高真空蝶閥
CI型超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。蝶門經過兩次動作完成關閉或打開蝶門的過程,閥體的兩面沒有正反面安裝方向,閥們的壓強范圍可拓寬到2x105-6.7x10-7Pa.適用介質為凈空氣或非腐蝕性氣體
主要技術性能
適用范圍:
2x105~6.7x10-7Pa
閥門漏率:
≤1.3x10-7 Pa.L/S(正反向)
適用溫度:
-30~ 80℃
安裝狀態:
任意
安裝方向:
任意
開啟壓差:
推薦值:1x105Pa; 較大值:2x105Pa.
開門角度:
0-90°任意調節
外形及連接尺寸(mm):
型號
DN
D
Do
D1
B
H
B1
n-Mc
CI-63
63
130
110
68
40
165
82
4-M8
CI-80
80
145
125
85
40
173
82
8-M8
CI-100
100
165
145
105
40
183
82
8-M8
CI-160
160
225
200
165
52
220
90
8-M10
CI-200
200
285
260
208
62
245
94
12-M10
CI-250
250
335
310
258
74
280
100
12-M10
CI-320
320
425
395
328
90
330
125
12-M12
CI-400
400
510
480
410
106
360
160
16-M12
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