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型號
FSF-400/3600
抽氣速率（l/s）
3600L/S
壓縮比N2
>108
壓縮比H2
>5×102
極限壓強(Pa)
<2×10-6
高真空法蘭
400ISO-K
排氣口法蘭
100ISO-K
啟動加速時（min）
<10min
電機轉速（n/min）
12600n/min
最小不平衡（mg）
15mg
建議采用前級泵
機械泵30L/S
充油量（ml）
/
安裝方式
垂直±5°
冷卻方式
水冷
冷卻水溫度
<20℃
環境使用溫度（℃）
水冷<40℃
泵體烘烤溫度（℃）
<100℃
泵重量（kg）
100kg
外形尺寸（mm）
Φ430×490
