SDV干式螺桿真空泵
抽速/500-11500L/min
極限壓力/10Pa
用途/一般產業機器
SDF干式螺桿真空泵
抽速/500-850L/min
極限壓力/30Pa
用途/一般產業機器
MDP•SLT干式螺桿真空泵
抽速/1100-35000L/min
極限壓力/0.7Pa
用途/化學工序
BEH干式螺桿真空泵
抽速/5000-30000L/min
極限壓力/0.13-0.08Pa
用途/半導體液晶工序
BEH-KT干式螺桿真空泵
抽速/50000-60000L/min
極限壓力/0.08Pa
用途/半導體液晶工序
TD干式螺桿真空泵
抽速/650-3000L/min
極限壓力/0.7Pa
用途/半導體液晶工序
TDA干式螺桿真空泵
抽速/150-700L/min
極限壓力/1.0Pa
用途/物理,化學機器