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BenchMark 450 主要技術參數
XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 帶TTL激光和可選5倍鏡頭）
英制單位 | 公制單位 | |||||||
測量范圍 | 18" X18"X6" | 450X450x150毫米 | ||||||
尺寸 | 48" X45"X67" | 1210X1140X1700毫米 | ||||||
負載能力 | 65千克 | |||||||
臺面分辨率 | 0.5微米 | |||||||
光學 | 雙重放大 (物鏡 X) | |||||||
低 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 | ||
高 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 | ||
標配物鏡 | 1X | |||||||
可選物鏡 | 0.8X,2.5X,5X | |||||||
照明 | LED 背光,LED 同軸面光 | |||||||
可選特征 | 多色可編程環形燈 (PRL) | |||||||
Ronchi 柵格自動ju jiao | ||||||||
TTL 激光 | ||||||||
旋轉分度工作臺 | ||||||||
