寧波鮑斯GSP3/GSP5/GSP6/GVD8渦旋真空泵
旋渦泵已廣泛應用于許多領域:
(1)半導體工業(yè):薄膜制造設備、半導體器件封裝設備;
(2)科學儀器工業(yè):同步輻射束機、電子顯微鏡、真空泵機組的極光測試設備、分析測試儀;
(3)機械鋁設備行業(yè):材料制備設備、真空檢測設備、真空過濾設備、材料凈化設備。設備、超高真空排氣設備;
(4)醫(yī)療器械行業(yè):牙科器械、透析機;生物制品行業(yè):材料凈化與制備;
(5)包裝行業(yè):食品、醫(yī)藥、生物制品等包裝設備;
(5)真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料預處理分離設備、真空檢測設備等領域。
無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:
①.無油,無摩擦——真空腔內無油,非接觸,無磨損,不產生微粒塵埃污染,可獲得清潔真空;
②.抽氣量大——雙渦旋盤,結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節(jié)省能源;
③.抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元,壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏低;
④.非接觸,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動小;
⑤.結構簡單緊湊,相同尺寸下,運動半徑小,運行平穩(wěn);
⑥.體積小,維修方便,維護費用低;
⑦.采用空氣冷卻,無需水冷。
目前無油渦旋真空泵的應用領域為:
①.半導體行業(yè)——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;
②.科學儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;
③.機械設備行業(yè)——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備;
④.化學工業(yè);
⑤.醫(yī)療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備;
⑥.包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設備。