產(chǎn)品簡述:該系列設(shè)備為鈣鈦礦太陽能電池、OLED、鋰電池、金屬電極薄膜等產(chǎn)業(yè)研發(fā)專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的不同材料薄膜制備研究。也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗等。
設(shè)備特點:
前后開門密封,前滑動開門操作輕便,氣動自動鎖緊;開后門裝料/檢修時大氣不會進(jìn)入手套箱環(huán)境,后門關(guān)閉時可直接通過把手鎖緊密封。
設(shè)備采用防湍流設(shè)計防止揚塵,提高膜層質(zhì)量。
溫控有機蒸發(fā)源采用控溫式束源爐結(jié)構(gòu)擋板一體化設(shè)計有機材料不被污染,不僅角度可調(diào),均勻性好還可通過膜厚儀聯(lián)動控制實現(xiàn)速率控制、摻雜等;
設(shè)備兼容有機/無機蒸發(fā),多元共蒸復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜
蒸發(fā)源的搭配及數(shù)量可根據(jù)用戶時間需要選配,性能穩(wěn)定;
樣品臺可升降調(diào)整源-基片距離,有效節(jié)約貴重材料,降低實驗成本;