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在生產電子產品及電氣元件的過程中會產生多種氣態污染物。這些煙塵、顆粒物、有機廢氣污染大。那么，電子廠廢氣處理要選擇哪種工藝會比較合適呢？
在實際處理過程中，針對電子廠STM車間、噴漆烘干廢氣主要為苯系物和非甲烷總烴等有機廢氣，我們中仁環保公司設計的廢氣治理方案采用“水噴淋凈化塔+UV光解凈化器”處理其去除有機廢氣效率高無二次危廢產生、可一直正常運行處理廢氣。（前期投資適中，運行成本低，風機動力消耗小）。
也有采用“噴淋凈化塔+活性炭吸附塔”的工藝，這套廢氣處理設備運行簡單，前期投資成本較低，活性炭在使用半年無效后，才更換新活性炭，且廢棄活性炭需有資質公司回收處理。活性炭凈化塔風機動力消耗大，相應功率大用電加大。
對濃度大的電子廢氣，最適合采用綜合型的方法，就是采用噴淋塔+UV光解+活性炭的方式。
電子廠車間的廢氣進入水噴淋廢氣處理塔，經濕式旋流板廢氣凈化塔進一步清洗處理后，通過加壓引風機進入光催化除臭設備內，經高能紫外線照射下，使揮發性有機物化學鍵開環和斷裂等多種反應（光化學反應），降解轉變成CO2，H2O等低分子化合物，利用高能紫外光照射空氣中的氧氣生成臭氧，臭氧吸收紫外線生成氧自由基和氧氣，氧自由基與空氣中的水蒸氣作用生成羥基自由基，一種更強的氧化劑，與醇、醛、羧酸等有機廢氣，徹底氧化為水、二氧化碳等無機物后，再進入活性炭吸附器進行吸附處理，廢氣得到徹底的凈化，最終通過管道排放到大氣中達標排放。為達到最佳凈化效果，廢氣經光催化除臭設備分解后，后續需有3~5秒管道反應時間。
