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低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。
低溫等離子技術可處理氣體種類：
含硫的化合物，如硫化氫、硫醇類、二甲基硫、硫醚類及含硫的雜環化合物等；
含氮的化合物，如氨、胺類、腈類、硝基化合物及含氮雜環化合物等；
碳、氫或碳、氫、氧組成的化合物（低級醇、醛、酯等）；
苯系物，如苯乙烯、苯、甲苯、二甲苯等；含鹵素化合物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳、二氯甲烷等。
脂類；如乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯等。、
因蒸煮、發酵產生的超飽和含異味的濕氣，主要應用領域；味精、醫藥化工、污泥干化等行業。
