特點
整機采用國際先進的有限元分析技術設計。應用“精密斜梁設計技術”,使橫梁重量輕、重心低、剛性強,幾何精度高、運動平穩。
三軸均采用高剛性、熱膨脹系數小的優質花崗巖材料,具備相同的溫度特性,確保了整機優良的熱穩定性和長期使用精度的可靠性。
采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導軌,軸承跨距大,抗角擺能力強,阻力小、無磨損、運動更平穩。
驅動系統采用國際知名品牌的高性能直流伺服電機、柔性同步齒形帶傳動,確保傳動無噪聲、快捷、平穩、精確和更長的使用壽命。
Y軸采用燕尾式導軌,有效消除了運動扭擺,保證了運動時的最大剛性和任意位置的測量精度。
Z軸采用氣缸平衡裝置,極大地提高了Z軸的定位精度及運動平穩性。
技術參數
(注:JSC12Y10N/NH中Y為訂制長度)