美國 HVA真空閘閥在氣體管路系統應用
半導體工廠, 太陽能光伏, LED, 鍍膜等行業在工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(真空管路)的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的度, 壓力和流量的前提下安全穩定的供應到工藝設備內. 美國 HVA真空閘閥廣泛用在氣體輸送環節 (氣體管路系統) , 起到真空隔離密封作用.
美國 HVA 超過40年的閥門研發生產經驗, 上海伯東美國 HVA閘閥口徑 DN 16 至 800 mm, 手動或氣動控制, 超高真空 1x10-10 mbar, 與友廠對比, HVA閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能, 小漏率