憑借非常簡單而的設計,這些經實際應用考驗的旋片泵可提供優異的真空性能。安捷倫的質量和制造標準確保 DS系列 旋片泵對輕質氣體具有穩定性抽速,并具有噪音低、返油量少和使用壽命長的特點。該泵的雙級設計使其可以在較低工作溫度下使用,并較大限度減少了低壓強時油蒸汽的回流現象,同時在 10-2 mbar 的低壓范圍內具有良好的抽氣速率和氣鎮效果。DS 旋片泵符合歐盟認證 (CE) 和有害物質限制 (RoHS) 要求,并且所有泵均通過 UL 和加拿大標準協會認證 (CSA) 認證。
產品特點:
主動式油循環
● 油循環齒輪泵強制潤滑,確保全部壓力范圍內潤滑的性和有效性
● 可以在大氣下連續工作。 |
嵌油防護罩
● 有效地抑制出氣口的油霧
● 工作中油消耗的減少異常
● 減少對環境的污染 |
防返油閥和放氣裝置 ● 該閥在泵停轉或閑暇的時候將泵隔離 ● 防止在關泵或供電故障的時候因意外 放氣而導致泵油污染真空系統
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泵體模塊定位銷 ● 泵體模塊使用定位銷安裝 ● 組裝和維護速度更快,避 免發生錯誤 |
氣鎮閥 ● 開啟該閥可以在第二級泵腔內導 入干燥氣體 ● 有助于將泵油內的水蒸氣和其它 冷凝性氣體清除 |
強制風冷 ● 降低真空泵工作溫度 ● 盡可能降低油分壓 ● 減少返油,防止對真空腔的污染 |
普適馬達 ● 泵馬達既可以是單相,也可以 是三相,適合于所有的電壓和 頻率規范 ● 工作電壓極易選擇,靈活度大 且便于管理 |
IEC320 插頭規范 ● 可以使用常規供電電纜 ● 不需要打開接線盒對馬達連線 |
具備環保技術的HS系列“智能”泵 ● 2004 年Varian 推出了臺真正 的“智能”旋片泵 ● 應用全新的變頻技術實現性能穩 定和優化 ● 涵蓋世界上所有的供電電壓和頻率規范 ● 能耗的降低和啟動電流的減少使該系列真空泵噪 音更低,壽命更長 |
型號 | 標稱抽速(m3/h) | 實際抽速(m3/h) | 極限分壓強(mbar) | 極限總壓強(mbar) | 較大排水蒸汽能力(g/h) | ||
50HZ | 60HZ | 50HZ | 60HZ | ||||
DS42 | 2.3 | 2.8 | 1.8 | 2.2 | 10-4 | 4 X 10-3 | 25 |
DS102 | 5.7 | 6.8 | 5.0 | 6.0 | 10-4 | 2 X 10-3 | 60 |
DS202 | 9.6 | 11.5 | 8.3 | 10.0 | 10-4 | 2 X 10-3 | 100 |
DS302 | 14.2 | 17.0 | 11.6 | 13.9 | 10-4 | 2 X 10-3 | 160 |
DS402 | 20.5 | 24.6 | 17.4 | 20.9 | 10-4 | 2 X 10-3 | 350 |
DS602 | 30.2 | 36.2 | 25 | 30 | 10-4 | 2 X 10-3 | 550 |
HS452 | 27.3 | 22 | 10-4 | 2 X 10-3 | 350 | ||
HS652 | 40.3 | 32 | 10-4 | 2 X 10-3 | 550 |