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低溫等離子設備物理與技術經歷了一個由60年代初的空間等離子體研究向80年代和90年代以材料為導向研究領域的大轉變，高速發展的微電子科學、環境科學、能源與材料科學等，為低溫等離子體科學發展帶來了新的機遇和挑戰。
現在，低溫等離子設備物理與應用已經是一個具有全球影響的重要的科學與工程，對高科技經濟的發展及傳統工業的改造有著巨大的影響。例如，1995年全球微電子工業的銷售額達1400億美元，而三分之一微電子器件設備采用等離子體技術。塑料包裝材料百分之九十都要經過低溫等離子體的表面處理和改性。科學家預測：二十一世紀低溫等離子體科學與技術將會產生突破。據估計，低溫等離子體技術在半導體工業、聚合物薄膜、材料防腐蝕、等離子體電子學、等離子體合成、等離子體冶金、等離子體煤化工、等離子體三廢處理等領域的潛在市場每年將達一千幾百億美元。
等離子體輔助加工被用來制造特種優良性能的新材料、研制新的化學物質和化學過程，加工、改造和精制材料及其表面，具有極其廣泛的工業應用--從薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、等離子體冶金、等離子體化工、微波源。
