Partulab CPS-7000 LN2/LHe低溫真空探針臺是一種利用液氦/液氮快速制冷并為晶片、器件和材料（薄膜、納米、石墨烯、電子材料、超導材料、鐵電材料等）提供真空和低溫測試條件下進行非破壞性的電學表征和測量平臺。

■ 顯微成像裝置
便于觀察微型樣品測量，設有聚焦視覺系統，LCD19監視器、USB Camera位移臺的Monoscopes光學觀測組件，選擇合適的放大倍率和光源，可以清晰查看探針針尖位置，以便準確無誤的進行樣品測試；

■ 探針臺
將樣品放入探針臺，通過調節探針桿控制探針夾持樣品進行測量，可以通過頂部玻璃觀察窗觀察樣品情況和探針位置；

■ 三維位移臺
X/Y/Z驅動距離分別為50/25/25mm，X是導入桿軸向，Y是導入桿水平徑向，Z是導入桿上下方向。三維位移臺搭配壓縮波紋管，實現真空環境下三維調整，兩者中間連接電極安裝座，可以適配不通接口的真空feedthroughs；

■ 氣動隔振臺
采用低固有頻率的空氣彈簧作為振動隔離材料，并在支撐架上安裝了三個水平自動調節閥，以搭載低溫探針臺進行隔離振動干擾實驗。

技術規格

溫度范圍：80k-475（液氮制冷），4.2k-475k（液氮制冷）

選配低溫選件后，溫度可降低到3.2K；選配高溫選件，溫度范圍為20k-675k；控溫穩定性：+50mK；

制冷劑消耗:<1.5L/hr@LHe   <0.5L/hr@LN2;

降溫時間：液氦~30min to 10k，~60min to 5k；液氮~45min to 110k， ~60min to 80k；

測試樣品尺寸：直徑51mm；

頻率范圍：測量DC到67GHz；

XYZ位移平臺形成與精度：X軸51mm，精度20μm；Y軸25mm，精度10μm；Z軸25mm，精度10μm；

真空環境：10-5-10-6mbar

頂部光學觀察窗：標準2.0‘’（51mm）；

4個直流探針臂，最多可使用6個探針臂，每個探針臂上配有三個同軸接頭及配套電纜。

該低溫真空探針臺可以對材料或器件進行電學特性測量、光電特性測量、參數測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量，為了提高系統的實用性，系統還可以提高3.2K的溫度擴展選件、震動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數的顯微鏡、分子泵組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學樣品架等選件。

標準配置：

低溫真空探針臺：包含探針臺、顯微成像裝置、三維位移平臺、阻尼隔振臺、液氮液氦制冷平臺

選購件：氣動隔振臺、阻尼隔振臺、3.2K低溫選件、高溫選件、帶充氣增壓杜瓦瓶、電動控制杜瓦瓶、泵管道隔震裝置、無油壓縮機、機械泵、分子泵機組等。