CCQ-型系列氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力,通過電磁換向閥改變氣路方向,推動氣缸活塞,驅動閥板作上下運動,實現閥門的開啟或關閉,從而達到在超高真空系統中接通或切斷氣流的目的。
適用的工作介質為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
主要技術性能
適用范圍(Pa) 10∧5~1.3×10ˉ7
閥門漏率(Pa.L/S) DN≤200為≤1.3×10ˉ7
DN≥250為≤6.7×10ˉ7
閥門烘烤溫度(℃) ≤150(除傳動裝置外)
開閥時閥板兩側壓力差(Pa) ≤2.7×10∧3
起源壓力(MPa) 0.4~0.6
電源壓力 標準出廠:AC220V/50Hz
特殊:AC110V;DC24;DC12V等
信號反饋 標準出廠:不帶反饋信號
特殊:磁性開關DC/AC5~240V