質量流量計、流量計ZF-MFC-XX系列質量流量計/質量流量控制器質量流量控制器（MassFlowController縮寫為MFC）是以氣體的質量流量為計量基準的流量計。傳感器采用流量傳感芯片及溫度補償技術，其測量值不隨氣體的壓力,溫度的變化而波動。較之一般的體積流量計具有無可比擬的優越性，同時具有全量程高穩定性，高精度和優良的重復性，測量精度高，計量的起始流量小，自動穩零點，響應速度快。同時可輸出4~20mA信號，可供遠程儀表連接由上位機實現設定、控制、記錄等功能。質量流量計的應用管道的氣體--沼氣，煤氣，天然氣，液化氣，鍋爐預熱空氣。石油與天然氣工業--燃氣計量，氣體質量分析，泄漏氣測試，天然氣測量。電力行業--燃料系統中氣體分配過程中的氣體測量，鍋爐乃輔助系統中各種氣體的測量，燃氣爐中氣體測量，氫氣測量控制，電廠高爐的一次風，二次風的測量。化學工業--煙氣循環測量，采樣系統中氣體流量計量控制。引風機的氣體流量計量控制，化肥廠氨氣測量控制，電池工廠各種氣體流量測量控制。冷扎行業--鋼鐵廠加氣測量，煉鋼廠，高爐煤氣測量，焦化廠焦爐煤氣的測量控制，軋鋼廠加熱爐燃氣的測量控制，熱處理爐的氫，氧，氮等氣體的控制。食品及醫療行業--熱氧化過程中氣體流量測量控制，通風系統鍋爐進氣，廢棄，二氧化碳的處理等。系統集成商特殊氣體廠商，真空元件供應商，真空系統集成商，電池系統集成商，生化系統集成商，氣體裝配流水線集成商，大學實驗室，科研機構實驗室，氣體公司，研發機構。典型應用--電子工業設備，如氧化，CVD,擴散，外延，等離子蝕刻，離子注入和濺射，以及微反應裝置，配氣和混氣系統，鍍膜設備，光釬熔煉，氣相色譜以及其他分析儀器。質量流量計使用注意事項對于反應系統，建議在氣體質量流量計控制器的出流端加裝單向閥，以防止異常情況下反應物倒流損壞質量流量計控制器。對于高壓系統，應在氣體質量流量計控制器的下游加裝背壓閥，氣體質量流量計的工作壓力。注意加裝過濾器以凈化氣源，延長質量流量計控制器的使用壽命。對于硅烷這樣的遇氣體易形成結晶的氣體，應特別注意系統的密閉性，必要時設計清洗旁路，隨時進行氮氣吹洗或過壓保持。有高頻源的系統應注意屏蔽并特別注意處理好接地問題。對于高真空系統注意各路接頭盡量減少，并采用VCR等接頭質量流量計控制器的安裝位置應易于裝卸，檢測，調零并安全。對精度特殊要求極高的系統應注意冗余設計注意正確使用操作.對于比較復雜的系統或使用特殊氣體的系統，應當建立自己的操作規程。注意輕拿輕放妥善保管，質量流量控制器非常精密，應避免受到撞擊和震動，產品不用時注意放在較好環境中妥善保管。注意定期標定，如果自帶標定裝置可以省去。注意使用氣體與流量計的密封材料相適應。質量流量控制器通常采用的密封材料是氟橡膠，能適應大多數氣體的使用，包括HCL這樣的強腐蝕氣體，但對于氨氣必須使用耐氨橡膠，對于有機溶劑類氣體，如丙酮，甲苯等必須使用硅橡膠，對于使用三氯化硼，三溴化硼等強腐蝕性介質，必須使用四氟密封或金屬密封,流量計用戶在訂貨時必須注意