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真空平臺指標： 行程25-85mm , 每步的分辨率可以達到1u，零間隙，高剛性結構，負載較大可以達到50kg。可以直接搭載XYZ運動平臺。真空度范圍是：10^10mbar以內。使用交叉滾珠導軌運動，使運動精度更高。
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真空步進電機直線運動平臺
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