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合格的原料氣源經減壓閥進入氧氣發生器，通過變壓吸附法（美國美國UOP公司的制氧分子為吸附劑）分離把多余氮氣排除，留下剩余氧氣，讓氧氣濃度達到90%以上才釋放輸出，以供給3G移動式臭氧發生器是濃度較高的氧氣。
將高濃度氧氣輸入到3G移動式臭氧發生器中，在3G移動式臭氧發生器的高頻高壓電場內，氧氣(O2)轉換成臭氧(O3)，經流量、壓力調節閥調節和渦街流量計、壓力變送器及溫度變送器檢測流量、壓力、溫度，以及臭氧監控儀檢測臭氧濃度后，臭氧發生器所產生的臭氧經渦街流量計和總管壓力變送器檢測總流量及壓力后進入水冷卻臭氧復合管。
