Formtracer 表面粗糙度、輪廓形狀一體機 Formtracer Extreme (超級表面粗糙度/輪廓測量裝置) CS-5000CNC / CS-H5000CNC 525系列 — CNC 形狀測量儀 ? 高精度測針型CNC表面測量儀可以同時 進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。 ? X1軸和Z2軸的較大驅動速度分別為 40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從 而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。 ? X1軸和Z1軸上裝有三豐激光全息光柵 尺，從而可以實現高分辨率[X1軸分辨 率 ：6.25nm, Z1軸分辨率 ：4nm/8nm(CS- 5000CNC), 1nm/2nm (CS-H5000CNC)]的輪 廓/形狀測量、表面粗糙度的批量測量。 ? Z1軸檢出器采用主動控制方式，減少Z1 軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。 ? Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置，當 儀器主體與工件或夾具發生碰撞時，檢 測裝置可以自動停止工作。 ? CS-5000CNC 帶有 a 軸，可以通過電動旋 轉X1軸連續測量水平面和傾斜面。 ? 帶有Y軸工作臺的型號，可沿Y軸進行多 工件定位，從而增加了多工件測量范圍。 ? 提供易于操作的控制盒，用戶可以通過這 兩個操縱桿選擇合適的軸進行移動。在 按鍵上標有易于理解的圖形顯示軸的選 擇狀態。 ? 通過USB端口與數據處理/分析裝置(選件) 進行信息交換。 性能參數 型號 CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC 貨號* (200V - 240V) 525-721-2 525-722-2 525-723-2 525-724-2 X1軸測量范圍 200mm 200mm 200mm 200mm Z2軸垂直移動 300mm 300mm 300mm 300mm Y軸工作臺裝置 — — 已安裝 已安裝 a 軸裝置 — 已安裝 — 已安裝 型號 CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC 貨號* (200V - 240V) 525-741-2 525-742-2 525-743-2 525-744-2 X1軸測量范圍 200mm 200mm 200mm 200mm Z2軸垂直移動 500mm 500mm 500mm 500mm Y軸工作臺裝置 — — 已安裝 已安裝 a 軸裝置 — 已安裝 — 已安裝 * 根據不同的交流電源電纜及測量裝置，可選不同的選件套裝。12AAL412 (公制型, UL/CSA), 12AAL413(公制型, 歐盟), 12AAL414 (公 制型, BS), 12AAL418 (公制型, 中國), 12AAL419 (公制型, EK) 型號 CS-H5000CNC CS-H5000CNC 貨號* (200V - 240V) 525-761-2 525-763-2 X1軸測量范圍 200mm 200mm Z2軸垂直移動 300mm 300mm Y軸工作臺裝置 — 已安裝 a 軸裝置 — —技術參數: X1軸 測量范圍: 200mm 分辨率: 0.00625μm 檢測方法: 激光全息光柵尺 驅動速度: 較大 40mm/s (CNC 模式) 0 - 40mm/s (操縱桿控制模式) 測量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度) 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) 測量方向: 向前／向后 直線度: (0.1 0.0015L)μm 使用標準測針 (0.2 0.0015L)μm 使用二倍長型測針 直線度: (0.05 0.0003L)μm 使用標準測針 (0.1 0.0015L)μm 使用二倍長型測針 (CS-H5000CNC) 指示精度 (20oC): ±(0.3 0.002L)μm 指示精度 (20oC): ±(0.16 0.001L)μm L 為驅動長度 (mm) Z1軸 測量范圍: 12mm (使用標準測針) 24mm (使用二倍長型測針) 分辨率: 0.004μm (使用標準測針) 0.008μm (使用二倍長型測針) 0.001μm (使用標準測針) (CS-H500CNC) 0.002μm (使用二倍長型測針) (CS-H500CNC) 測針上／下運作: 弧形運動 檢測方法: 激光全息光柵尺 指示精度 (20oC): ±(0.3 I0.02HI)μm 指示精度 (20oC): ±(0.07 I0.02HI)μm H 為測量高度 (mm) 測力: 4mN (使用標準測針) 0.75mN (使用二倍長型測針) 跟蹤角度: 向上60o, 向下60o (取決于表面粗糙度) 測針針尖: 參見 L-22 頁 測針方向: 向下 Z2軸 (立柱) 測量范圍: 300mm或500mm *CS-H5000CNC : 僅300mm 分辨率: 0.05μm 檢測方法: 反射型線性編碼器 驅動速度: 較大 200mm/s (CNC 模式) 0 - 50mm/s (操縱桿控制模式) 基座尺寸 (W x D): 750 x 600mm 基座材料: 花崗巖 Y軸* 測量范圍 : 200mm 分辨率 : 0.05μm 驅動速度: 較大200mm/s (CNC 模式) 0~50mm/s (操縱桿控制模式) 工件較大承重 : 20kg 直線度 : 0.5μm/200mm 指示精度 (20oC): ±(2 2L/200)μm L 任意兩點間的長度 (mm) 尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm (800 x 620 x 1200mm: 高立柱型) 重量: 240kg (250kg: 高立柱型)