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晶圓片快速脫氧高溫烘箱，10pa真空高溫氮氣烤箱訂制
本產品適用于半導體、電子產品、五金制品、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。
型號 VOD-90 VOD-210 VOD-216
真空度 ≤10 pa
電源 AC380V 3φ 50HZ
功率（KW） 12 18 20
工作環境溫度
性能 溫度范圍 RT+10℃～450℃
升溫時間 2 ℃/minute～4 ℃/minute
降溫時間 2 ℃/minute～4 ℃/minute
(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)
結構 外殼 冷扎碳鋼板，經防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷
內膽 5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內外表面拋光
保溫材料 厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好
箱門 真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)
真空泵 LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);
加熱系統 四面輻射加熱
電器系統 系統采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停；
溫控輸出 SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態繼電器
安全保護 加熱電流過流、系統短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負載、
缺相保護、電爐超溫報警等功能
內容積（L）） 91 215 252
內部尺寸（㎜） W450×D450×H450 W560×D640×H600 W700×D600×H600
外部尺寸（㎜） W800×D800×H1715 W910×D990×H1865 W1050×D950×H1865
