MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計
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MKS流量計是以單位時間內壓力體積的流量方式來控制氣體質量流量的測量儀器。
MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應用在半導體行業,鍍膜玻璃,醫藥制藥行業,生物工程行業,適
合各種氣體媒介,常用的有氧氣,氫氣,氮氣,氯化氫氣體,氨氣,SICL4硅烷氣體等