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技術參數： ˉ采用全花崗石底座、支柱，機械系統的穩定性 ˉ行程范圍：X軸------1000mmY軸------1200 mm ˉZ軸------400 mmT軸------360o ˉ傳動方式：高精密滾珠導軌 高精密滾珠絲杠 步進電機 ˉ圖像采集系統：高速圖像采集卡 鏡頭 低照度高分辨率CCD ˉ激光系統：650 nm波長激光，較大功率20 mW，連續可調 ˉ機械精度：X、Y、Z三軸綜合精度分別≤0.05 mm ˉ機臺重復定位精度≤0.005 mm ˉ機臺：高精度花崗巖平臺，機臺承重
