omega FMA3102 流量控制器和流量計
FMA3200、FMA3300、FMA3400
經濟型氣體質量流量控制器和流量計
適用于潔凈氣體
FMA3100系列質量流量傳感器代表著質量流量傳感器技術領域的突破。先進的電子器件、緊湊的機械設計以及批量生產加工理念在這一高性能、低成本的產品中集中體現。氣體流量傳感器適合多種OEM應用。0 ~ 5 Vdc線性輸出作為標準輸出信號。
FMA3200質量流量控制器外形小巧,它利用基本的FMA3100熱式質量流量傳感器提供、穩定的氣體流量控制。在斷電模式下,流量控制閥關閉,同時泄漏率較低。這種具成本效益的控制器是眾多OEM應用的理想之選,它提供0 ~ 5 Vdc線性輸出并接收0 ~ 5 Vdc的控制輸入。
FMA3300在FMA3100流量計功能的基礎上增加了一個可調節3位半數字LCD數字顯示儀表,用于查看以工程單位(即mL/min或L/min)顯示的流量。已經證實,這些緊湊型流量計在很多實驗室應用中效果。
輸出: 0 ~ 5 Vdc(小值2500 )
輸入設定電壓
(僅FMA3200): 0 ~ 5 Vdc
精度: 滿量程的±1.5%*
重復性: 滿量程的±0.5%
響應時間: 在滿量程的25 ~ 范圍大約2秒(常規)達到設定流速的±2%內
工作環境: 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F),無冷凝空氣
工作壓力范圍: 25°C (77°F)時達到較大值150 psi
溫度系數: 每°C為±0.2%
壓力系數: 每psi為±0.02%
泄漏完整性: 對于外界環境,較大值為1x10-4SCCS氦氣
輸入電源:
FMA3100和FMA3300: 12 ~ 15 Vdc,100 mA (1.5 W)
FMA3200: 12 ~ 15 Vdc,250 mA (3.75 W)
連接口: 流速達到1 L/min時,采用"壓合接頭;流速達到5 L/min時,采用" 壓合接頭;流速達到10 L/min時,采用"壓合接頭
接液材質: 陽極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環氧樹脂、乙縮醛壓合管接頭(標配)
量程比: 10:1
氣體: 大部分潔凈、干燥氣體(例如,空氣、氮氣、二氧化碳、氬氣、氫氣、氦氣、甲烷、氧氣)
過濾:如果氣體中含有任何顆粒物質,需要使用20微米過濾器
規格(FMA3200流量控制器)
壓差: 15 ~ 40 psi
閥門工作壽命: >1百萬次循環;閥門處于常閉狀態
閥門處的泄漏率: 0.2 SCCM或低于滿量程的2%,以較大值為準
控制量程: 50:1
遠程設定電壓: 0 ~ 5 Vdc
重量:
FMA3100: 199 g (0.44 lb)
FMA3300: 249 g (0.55 lb)
FMA3200: 386 g (0.85 lb)
不帶接頭的尺寸(近似值):
FMA3100: 47(長)x 26(寬)x 90 mm(高)(1.87 x 1.03 x 3.55")
FMA3300: 47(長)x 26(寬)x 127 mm(高)(1.87 x 1.03 x 5.0")
FMA3200: 81(長)x 26(寬)x 97 mm(高)(3.17 x 1.03 x 3.80")
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