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功能調系列調阻機
設備特點
?定制化：可針對客戶產品不同的激光調阻應用要求，提供具有較高價值的產品解決方案。
?調阻精度高：獨特的測控技術，測量控制系統精度的一致性好，提升產品附加值；成品率高，單位成本下降。
?軟件可編程：可輕松實現客戶的不同需求以及高自動化運行，也可作為專門的測試平臺，適應性廣。
?使用成本低：采用了先進的激光器，無耗材，使用成本較低，長期使用節約大量的費用。
?多功能：可實現陶瓷基片的激光劃線、打標，減少設備的再投入。
?大理石基座，可有效減小工作臺啟動、停止和加速過程中產生的震動，同時保持機臺溫度的穩定性，性高。
主要技術參數
激光系統 型號規格 LT
激光波長 1064nm
激光功率 10W
典型光斑尺寸 35±5μm
對焦方式 自動，計算機程序控制
冷卻方式 風冷
激光束定位系統 激光束運動范圍 60mm X 60mm
運動分辨率 0.76μm
重復定位精度 ±5μm
分步重復運動系統 運動方式 精密閉環XY平臺
運動范圍 300mm*300mm
重復定位精度 ±10μm
較大運動速度（空載） 180mm/s
測量系統 電阻測量方式 四線制測量或二線制測量
電阻測量精度 中阻0.05%
電阻測量范圍 0.1Ω-100MΩ
測量速度 25μs/次
零點及滿程誤差校正 自動校正
探針定義 可編程任意設定
探針板運動 自動，計算機程序控制
