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常見的真空材料表面上的污染物具體有以下幾種類型。
?、儆椭杭庸ぁ⒀b配、操作時沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等;
②水基類:操作時的手汗、吹氣時的水汽、唾液等;
③表面氧化物:材料長期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物;
?、芩帷A、鹽類物質:清洗時的殘余物質、手汗、水中的礦物質等;
?、輶伖鈿堅碍h境空氣中的塵埃和其它有機物等。