簡單介紹 FFU為英文縮寫，全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為"風機濾器單元（機組）"。也就是將風機和過濾器（高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA））組合在一起構(gòu)成自身提供動力的末端凈化設(shè)備。確切地說FFU是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。

   FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設(shè)備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環(huán)風所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運行風速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計施工簡便，風速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。

 具有特點 第一：靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。 第二：可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。 第三：負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。 第四：縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。 第五：減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用在循環(huán)減少40%的運行成本。 

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