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1.外觀簡潔大方,整機采用PLC控制，易于操作，性能穩(wěn)定；
2.功能：通過噴灑出微小且高壓力的凈水將切割后的晶圓清洗干凈。
3.通過更改參數自適應3、4、5、6、8英寸的晶圓；
4.通過更換臺盤能適應標準6”和8”框架（Frame）；
5.出水壓力可調，范圍：2.0~11.8MPa（20 ~ 120 kgf/cm2）；
6.主電機采用AC變頻電機，擺臂電機采用伺服電機。
7.可分開調節(jié)噴水和噴氣時主軸旋轉速度，范圍：0~3000 rpm；
8. 采用彩色觸摸屏作為人機操作界面；
9.噴頭噴灑范圍可自動根據設定的晶圓大小調節(jié)，無需人工干預；
10.具有氣體壓力和出水壓力調節(jié)功能；
11.具有氮氣輸入接口；
12.具有“緊急停止”功能；
13.具有系統(tǒng)運行狀態(tài)監(jiān)控和設備故障報警功能；
14.適應晶圓尺寸：3、4、5、6、8英寸；
15.適應框架（Frame）：標準6、8英寸（可根據終用戶樣品設計臺盤以適應非標準的Frame）；
16.電器部分采用SMC、Orientalmotor, Misumi、西門子、三菱等產品，系統(tǒng)；
可聯(lián)系魏先生
