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技術數據
N2 抽速
NW40 42 ls-1
ISO63/CF63 61 ls-1
N2 壓縮比 >1 x 1011
50Hz 時的前級泵速度
E2M1.5 1.6 m3h-1
XDD1 1.2 m3h-1
極限壓力 <5 x 10-8 mbar
進氣口法蘭 NW40、ISO63 或 CF63
排氣口法蘭
E2M1.5 11mm OD 噴嘴或 3/8 英寸 BSP
XDD1 裝配消音器或 1/8 英寸 BSP
重量
E2M1.5 22 kg / 48 lb
XDD1 18 kg/40 lb
噪音級別 55.4 dB(A)
密封性 <1 x 10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍 10 至 40°C/50 至 104°F
