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日本ULVAC在提供各種真空設備的同時，還提供各種真空泵，真空計測，氦氣質樸檢漏儀等各種真空配套設備。同時提供優良的售后服務。低溫泵也是優勢產品之一。
規格型號 LR/HR60 LR/HR90 LR180 LR/HR300 LR/HR600 LR/HR1200 LR1800
增壓泵 - PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
干泵 LR/HR60 LR/HR90 LR180 LR/HR60 LR/HR90 LR/HR90 LR180
速度 50Hz 62 112 183 359 653 1012 1701
m3/hr (10 (18 (31 (59 (109 (169 (283
(L/min) 30) 60) 00) 80) 00) 00) 50)
60Hz 80 126 237 365 701 1051 1784
(13 (21 (39 (60 (117 (175 (297
33) 00) 50) 80) 00) 00) 00)
Maximum inlet Atmospheric pressure *2
pressure (Pa)
極限壓力 Pa 5 0.67
較大排氣壓力 1Pa to Atmospheric pressure
入口尺寸 *1 VG VG VG VG VG VG VG
50 80 80 80 80 100 150
出口尺寸 NW40
潤滑油，潤滑脂 PRC - FOMBLIN YL VAC 14/6
BARRIERTA J60F
- - - 0.7L 1.5L 1.9L 1.9L
LR/ FORBLIN YL VAC 25/6
HR BARIERTA J100F
0.5L 0.9L 1.5L 0.5L 0.9L 0.9L 1.5L
BARIERTA JFE552HV
23.8 30 37.4 23.8 30 30 37.4
g g g g g g g
重量 (kg) 180 245 335 275 370 420 545
kg kg kg kg kg kg kg
